http://qz-heating-ir.com/cs/tags/process/ Recent content in Process on Quartz IR Heating Experts Hugo cs Mon, 29 Jun 2026 06:58:31 +0800 http://qz-heating-ir.com/cs/posts/ashing-process-heating-infrared/ Mon, 29 Jun 2026 06:58:31 +0800 http://qz-heating-ir.com/cs/posts/ashing-process-heating-infrared/ <p><img src="http://qz-heating-ir.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="Zahřívání procesu spalování infrazáření"></p> <p>V prostoru určeném k <a href="https://henruite.com">litografii</a> stanovuje komora na spalování popela tepelný profil potřebný k odstranění fotorezistoru. I malá odchylka o půl stupně od nastavené hodnoty může vést ke zbytkům fotorezistoru – nebo ještě horšímu ná<a href="https://goldisgood.com">sledku</a> v podobě poškození vrstvy pod ním. Jeden vadný wafer může způsobit problémy u celé série waférů. Infračervené ohřevy umožňují dosáhnout potřebného tepelného profilu.</p> <p><strong>Co je z hlediska technologie důležité</strong><br> Používáme emitery krátkovlnného infračerveného záření, které posílají teplo přímo do vrstvy fotorezistoru – rychle, přímo a předvídatelně. Rozměrnost teploty na povrchu waferu zůstává v rozmezí ±0,1°C během celého procesu. Konstrukce emitérů neobsahuje křemík, takže dochází k žádné tvorbě částic – což je právě to, co je potřeba v čistých prostorách tříd 1–100. Opakovatelnost procesu je ≤0,2% mezi jednotlivými cykly, a to bez ohledu na to, zda následuje proces měkkého nebo tvrdého zahřívání nebo leptání.</p>