http://qz-heating-ir.com/de/tags/aschenwerden/ Recent content in Aschenwerden on Quartz IR Heating Experts Hugo de Mon, 29 Jun 2026 06:58:30 +0800 http://qz-heating-ir.com/de/posts/ashing-process-heating-infrared/ Mon, 29 Jun 2026 06:58:30 +0800 http://qz-heating-ir.com/de/posts/ashing-process-heating-infrared/ <p><img src="http://qz-heating-ir.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="Heizung beim Aschungsprozess – Infrarotmethode"></p> <p>Auf der Lithografieeinheit legt die Aschungskammer das Wä<a href="https://henruite.com">rmeprofil</a> für die Entfernung des Photoresists fest. Schon eine Abweichung von einem halben Grad vom gesetzten Wert kann dazu führen, dass Rückstände zurückbleiben – oder schlimmer noch: dass die darunterliegenden Schichten <a href="https://goldisgood.com">besch</a>ädigt werden. Ein <a href="https://o-yate.net">einziger</a> defekter Wafer kann dazu führen, dass der gesamte Prozess fehlschlägt. Infrarotbeheizung sorgt dafür, dass das Wärmeprofil stets konstant bleibt.</p> <p><strong>Was technisch wichtig ist:</strong><br> Wir nutzen Kurzwellen-Infrarotstrahler, um Wärme direkt in den Photoresist zu leiten – schnell, effektiv und vorhersehbar. Die Homogenität auf Waferebene liegt bei ±0,1 °C über die gesamte Prozesszeit hinweg. Die Strahler sind quartsfrei konstruiert, sodass keine Partikel entstehen – genau das, was für Reinräume der Klassen 1–100 erforderlich ist. Die Wiederholgenauigkeit liegt bei ≤0,2 % von Zyklus zu Zyklus – egal ob es sich um einen „Soft Bake“, einen „Hard Bake“ oder ein Ätzenprozess handelt.</p>