http://qz-heating-ir.com/de/tags/cvd/ Recent content in CVD on Quartz IR Heating Experts Hugo de Fri, 19 Jun 2026 05:57:30 +0800 http://qz-heating-ir.com/de/posts/cvd-chemical-vapor-deposition-heater/ Fri, 19 Jun 2026 05:57:30 +0800 http://qz-heating-ir.com/de/posts/cvd-chemical-vapor-deposition-heater/ <p><img src="http://qz-heating-ir.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="CVD (Chemical Vapor Deposition) Heizer"></p> <p>Auf dem Produktionsboden zeigt sich eine Schwankung der Kammertemperatur schnell – in Form von Uneinheitlichkeiten in der Dicke der Schichten sowie Verlusten an Ertrag. Das lässt sich nachträglich nicht mehr beheben. Der Heizer muss daher von der ersten bis zur letzten Wafer die thermischen <a href="https://o-yate.net">Bedingungen</a> konstant halten.</p> <p><strong>Was technisch wichtig ist:</strong> Wir haben den CVD-Heizer mit Kurzwell-Infrarot-Halogenlementen hinter Quarzfenstern konstruiert. Die Wärme gelangt direkt auf das Substrat, wodurch eine Gleichmäßigkeit der Temperatur auf dem Wafer bei ±0,1°C erreicht wird. Das thermische Profil wiederholt sich von Zyklus zu Zyklus, sodass die thermischen Bedingungen konstant bleiben.</p>