FOUP Trockner (Front Opening Unified Pod)

Mon, 22 Jun 2026 23:50:58 +0800

Im Bereich der Lithografie gilt folgendes Prinzip: Die FOUPs kommen nach der Reinigung feucht herein – und die Zeit drängt. Wenn die Trocknungszeit auch nur geringfügig zu kurz oder zu lang ist, trocknet das Fotolack nicht richtig aus. Plötzlich konzentriert sich die Aufmerksamkeit auf die Fehlerbehebung statt auf die Erzielung einer guten Produktqualität. Wir haben daher einen Trockner entwickelt, der solche Probleme bereits im Vorfeld verhindert.

Was wirklich wichtig ist
Wir halten die thermische Homogenität auf Waferebene bei ±0,1 °C – damit jeder Wafer dieselben Bedingungen erhält. Kurzwelliges Infrarot sorgt für eine schnelle, direkte Erwärmung mit geringer thermischer Trägheit. Dadurch bleiben die Temperaturen während des Trocknungsprozesses konstant. Der Behälter ist für Reinräume der Klassen 1–100 geeignet. Die verwendeten Materialien und Dichtungen sorgen dafür, dass es zu keiner Partikelbildung kommt. Die Wiederholgenauigkeit wird durch kalibrierte Sensoren sowie einen Schleifenalgorithmus gewährleistet, der die Auswirkungen von Massendifferenzen sowie Umwelteinflüssen kompensiert. Die Anlage arbeitet 24/7 – und die Felddaten zeigen keine unplanmäßigen Ausfälle während mehrmonatiger Betriebszeiten.

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FOUP Trockner (Front Opening Unified Pod)