http://qz-heating-ir.com/de/tags/fast/ Recent content in Fast on Quartz IR Heating Experts Hugo de Thu, 02 Jul 2026 08:36:23 +0800 http://qz-heating-ir.com/de/posts/fast-drying-wafer-after-rinse-lamp/ Thu, 02 Jul 2026 08:36:23 +0800 http://qz-heating-ir.com/de/posts/fast-drying-wafer-after-rinse-lamp/ <p><img src="http://qz-heating-ir.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="Schnell trocknender Wafer nach dem Spülvorgang"></p> <p>In der Fertigungshalle ist die Qualität des Abspülvorgangs nur so gut wie die Qualität des Trocknungsprozesses. Wasserflecken, Streifen sowie übrig gebliebene Feuchtigkeit nach dem Waschen <a href="https://o-yate.net">verringern</a> die Effizienz – besonders bei Strukturen unter 28 nm. Standardheizelemente führen zu Verzögerungen beim Erwärmen; außerdem entstehen durch die Bewegung des Chucks ständig neue Partikel.</p> <p>Ein schneller Lampentrockner nach dem Abspülvorgang ermöglicht es uns, diesen Prozess schnell und kontrolliert abzuwickeln.</p> <p><strong>Was wichtig ist</strong><br> Wir <a href="https://henruite.com">haben</a> die Lampe mit Halogenemittenten im Kurzwellen-Infrarotbereich in einer Quarzkapsel konstruiert. Die Reaktionszeit ist kurz, und das Spektrum liegt genau im Absorptionsbereich von Wasser. Die thermische Homogenität auf der Waferoberfläche bleibt bei ±0,1 °C – dadurch bleibt die Integrität des Photoresists erhalten, wenn die Wafer anschließend den Weich- und Hartbackvorgängen unterzogen werden.</p>