http://qz-heating-ir.com/de/tags/oxidation/ Recent content in Oxidation on Quartz IR Heating Experts Hugo de Mon, 22 Jun 2026 23:41:41 +0800 http://qz-heating-ir.com/de/posts/wafer-oxidation-heating-element/ Mon, 22 Jun 2026 23:41:41 +0800 http://qz-heating-ir.com/de/posts/wafer-oxidation-heating-element/ <p><img src="http://qz-heating-ir.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="Oxidationsheizelement für Wafer"></p> <p>In der Produktionsstätte führen thermische Schwankungen während der Oxidationsprozesse nicht nur dazu, dass bestimmte Werte auf dem Diagramm angezeigt werden – sie wirken sich auch negativ auf die Qualität des Endprodukts aus. Ein Temperaturanstieg von 2 °C kann die Schwellenspannungen verfälschen und wochenlange Anpassungen zunichte machen. Wir haben die Heizelemente für die Oxidation der Wafern so konzipiert, dass diese Variablen keine Rolle mehr spielen.</p> <p><strong>Was technisch wichtig ist:</strong> Das <a href="https://henruite.com">Heizelement</a> besteht aus Quarz, strahlt Wärme ab und reagiert schnell sowie stabil. Die Temperaturgleichmäßigkeit auf der Waferoberfläche beträgt ±0,1 °C; die Wiederholgenauigkeit zwischen den einzelnen Prozesszyklen liegt bei weniger als 0,2 °C. Je nach Anforderung können kurzwellige oder mittelwellige Heizprofile verwendet werden: Schnelle Erwärmung für dünne Schichten, kontrollierte Erwärmung bei der Erzeugung dicker Oxidschichten.</p>