Temperatursensor für Wafer Werkzeuge

Thu, 23 Jul 2026 11:38:34 +0800

Vermeiden Sie Schäden an den Wafern durch defekte Leuchten
In einer Anlage mit hohem Durchsatz bedeutet ein defekter Leuchtkörper nicht nur Ärger oder eine kurze Stillstandzeit – es handelt sich dabei um einen regelrechten Albtraum. Wenn die Quarzkapsel platzt, fallen Glasscherben sowie verdampfter Wolfram auf die Wafer. Das führt sofort zum Verlust der Wafer. Danach bleibt noch die Aufgabe übrig, den gesamten Raum zu reinigen. Niemand möchte sein Wochenende damit verbringen.

Umgang mit der Hitze
Wir bauen unsere Infrarotleuchten so, dass sie dem ständigen, intensiven Betrieb in Halbleiterfabriken standhalten können. Meistens versagen die Leuchten wegen ungleicher thermischer Ausdehnung – im Grunde kann das Glas den Temperaturschwankungen nicht standhalten. Um dieses Problem zu lösen, verwenden wir hochreinen synthetischen Quarz. Dieser ist sehr widerstandsfähig und kann den schnellen Temperaturwechseln standhalten, ohne zu Rissen zu kommen. Doch damit sind wir noch nicht fertig. Wir verwenden auch Schutzmaßnahmen – wir umhüllen die Leuchtmittel mit bruchsicheren Hüllen oder verwenden spezielle Beschichtungen. So bleiben selbst im Falle eines Defekts die Trümmer innerhalb der Kapsel gefangen. Dadurch wird verhindert, dass Schmutz auf die Wafer gelangt.

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