Fehlerbehebung beim Heizgerät des RTP Systems

Sun, 21 Jun 2026 06:10:46 +0800

In der Fertigungsstätte zeigt sich ein Fehler im RTP-Heizer nicht durch offensichtliche Anzeichen. Stattdessen äußert sich der Fehler in einer Unregelmäßigkeit beim Weichbrennen, in einer Veränderung der Linienbreite nach der Belichtung oder in einer unkonstanten Ätzungsgeschwindigkeit. Die Wafer weisen somit Spuren von Temperaturunregelmäßigkeiten auf – und das Ergebnis ist Schrott, nicht nur Stillstand der Produktion.

Technisch gesehen ist es wichtig, dass das thermische Verhalten reproduzierbar ist. Wir konstruieren den Heizer entsprechend: Eine Homogenität der Temperatur auf der Waferoberfläche von ±0,1 °C sowie eine präzise Steuerung des Temperaturanstiegs sind dabei entscheidend. Halogenquellen liefern kurzwellige Energie für ein schnelles und sauberes Erhitzen. Das Quarzgehäuse sorgt dafür, dass die thermische Masse gering bleibt, während die Umgebung chemisch inerte bleibt. Das Ergebnis ist ein Profil, das immer wieder dem vorgegebenen Schema entspricht – egal ob es sich um ein Weichbrennen zur Stabilisierung des Fotoleits oder um ein Hartbrennen zur Fixierung des Bildes vor dem Ätzen handelt.

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Fehlerbehebung beim Heizgerät des RTP Systems