Trockner on Quartz IR Heating Experts

Steuereinheit für digitale Infrarot Trockner

Mon, 13 Jul 2026 14:51:43 +0800

Warum wir auf große Öfen verzichten und stattdessen Infrarot-Technologie nutzen
Seien wir ehrlich: Konvektionsöfen sind eigentlich überholt. Es gibt eine starke Tendenz hin zu digitalen Infrarot-Steuerungen. Es geht nicht nur darum, umweltfreundlich zu arbeiten oder die Standards für bleifreie Materialien einzuhalten – sondern auch darum, dass diese Technologien effektiver funktionieren, ohne die Produktionsgeschwindigkeit zu verringern.

Das Problem mit der Hitze
Bleifreie Lötstoffe und Klebstoffe sind besonders anspruchsvoll. Sie benötigen viel mehr Hitze, um zu härten, als herkömmliche, bleihaltige Materialien. Wenn man einen Standard-Hot-Air-Ofen verwendet, muss man im Grunde den ganzen Raum erwärmen, nur damit ein kleiner Teil des Materials aushärtet. Das ist eine Verschwendung von Energie – außerdem kann das dazu führen, dass die Untergründe beschädigt werden. Bei Infrarot-Technologie ist das nicht der Fall: Die Strahlung trifft direkt auf das Material und dringt in die Schicht ein. Das Ergebnis? Die Aushärtung erfolgt in Sekunden – nicht in Stunden.

Trockner zur Reinigung von Waferträgern

Wed, 24 Jun 2026 04:03:25 +0800

Auf dem Produktionsboden kann ein Träger, der nach der Reinigung durch den Entstaubungsprozess noch Feuchtigkeit enthält, diese Feuchtigkeit nicht in den Lithografiebereich mitnehmen. Verbleibende Schichten und Wasserspuren verringern nicht nur die Effizienz – sie erzwingen außerdem weitere Bearbeitungsschritte und belasten das Thermomanagement beim nächsten Trocknungsprozess. Der Trockner muss eine konstante Trockenheit gewährleisten, ohne dabei Partikel hinzuzufügen oder den Träger thermisch zu belasten.

Was wirklich wichtig ist
Wir haben den Reinigungs- und Trocknungsapparat für Wafer-Träger auf Kurzwell-infrarot-Heizung basierend konstruiert. Infrarotwellen dringen direkt in Wasser sowie dünne Schichten ein, sodass der Quarzträger nicht überhitzt wird. Dadurch entsteht ein gleichmäßiges Wärmefeld über die gesamte Fläche des Trägers – was zu einer Konstanz von ±0,1 °C in der kritischen Zone führt. Die Wiederholbarkeit wird durch die Lampenanordnung sowie die geschlossene Regelung gewährleistet: Jeder Zyklus führt zu demselben Temperaturprofil, sodass die Bedingungen während des Trocknungsprozesses nicht durch Schwankungen beeinflusst werden. Das System kann in Reinräumen der Klasse 1–100 eingesetzt werden; es ist außerdem so konzipiert, dass während der Betrieb keine Partikel entstehen. Zudem ist der Abluftweg so gestaltet, dass keine Partikel wieder in den Prozesskreislauf gelangen können.

FOUP Trockner (Front Opening Unified Pod)

Mon, 22 Jun 2026 23:50:58 +0800

Im Bereich der Lithografie gilt folgendes Prinzip: Die FOUPs kommen nach der Reinigung feucht herein – und die Zeit drängt. Wenn die Trocknungszeit auch nur geringfügig zu kurz oder zu lang ist, trocknet das Fotolack nicht richtig aus. Plötzlich konzentriert sich die Aufmerksamkeit auf die Fehlerbehebung statt auf die Erzielung einer guten Produktqualität. Wir haben daher einen Trockner entwickelt, der solche Probleme bereits im Vorfeld verhindert.

Was wirklich wichtig ist
Wir halten die thermische Homogenität auf Waferebene bei ±0,1 °C – damit jeder Wafer dieselben Bedingungen erhält. Kurzwelliges Infrarot sorgt für eine schnelle, direkte Erwärmung mit geringer thermischer Trägheit. Dadurch bleiben die Temperaturen während des Trocknungsprozesses konstant. Der Behälter ist für Reinräume der Klassen 1–100 geeignet. Die verwendeten Materialien und Dichtungen sorgen dafür, dass es zu keiner Partikelbildung kommt. Die Wiederholgenauigkeit wird durch kalibrierte Sensoren sowie einen Schleifenalgorithmus gewährleistet, der die Auswirkungen von Massendifferenzen sowie Umwelteinflüssen kompensiert. Die Anlage arbeitet 24/7 – und die Felddaten zeigen keine unplanmäßigen Ausfälle während mehrmonatiger Betriebszeiten.