http://qz-heating-ir.com/fa/tags/%D8%A7%DA%A9%D8%B3%DB%8C%D8%AF%D8%A7%D8%B3%DB%8C%D9%88%D9%86/ Recent content in اکسیداسیون on Quartz IR Heating Experts Hugo fa Mon, 22 Jun 2026 23:41:42 +0800 http://qz-heating-ir.com/fa/posts/wafer-oxidation-heating-element/ Mon, 22 Jun 2026 23:41:42 +0800 http://qz-heating-ir.com/fa/posts/wafer-oxidation-heating-element/ <p><img src="http://qz-heating-ir.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="عنصر گرمایشی اکسیداسیون وفر"></p> <p>در فرآیند اکسیداسیون، تغییرات دمایی نه تنها به صورت اعدادی روی نمودارها ظاهر می‌شوند، بلکه تأثیرات منفی زیادی بر بازدهی فرآیند دارند. یک نقطه داغ با دمای ۲ درجه سانتی‌گراد می‌تواند ولتاژهای لازم برای فرآیند را مختل کند و هفته‌ها تلاش برای تنظیمات دقیق را بی‌فایده کند. ما عناصر گرمایشی مورد استفاده در فرآیند اکسیداسیون را طوری طراحی کرده‌ایم که این مشکلات را از بین ببرند.</p> <p><strong>از نظر فنی، چه چیزهایی اهمیت دارد؟</strong> این عناصر بر پایه کوارتز ساخته شده‌اند و دارای قابلیت پاسخگویی سریع و پایداری بالایی هستند. یکنواختی دمای سطح ویفر در حد ±۰.۱ درجه سانتی‌گراد است؛ همچنین تکرارپذیری فرآیند در هر چرخه کمتر از ۰.۲ درجه سانتی‌گراد است. برای ساختارهای نازک، از امواج کوتاه یا متوسط استفاده کنید؛ در حالی که برای ساختارهای ضخیم، از روش‌های کنترل شده برای گرم کردن استفاده کنید.</p>