http://qz-heating-ir.com/fa/tags/%D8%B1%D9%81%D8%B9-%D8%A7%D8%B4%DA%A9%D8%A7%D9%84%D8%A7%D8%AA/ Recent content in رفع اشکالات on Quartz IR Heating Experts Hugo fa Sun, 21 Jun 2026 06:10:46 +0800 http://qz-heating-ir.com/fa/posts/troubleshooting-rtp-system-heater/ Sun, 21 Jun 2026 06:10:46 +0800 http://qz-heating-ir.com/fa/posts/troubleshooting-rtp-system-heater/ <p><img src="http://qz-heating-ir.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="رفع اختلالات هیتر سیستم RTP"></p> <p>در کارخانه‌های تولید، مشکلات مربوط به هیترهای RTP، به صورت آشکاری نمایان نمی‌شوند. این مشکلات باعث اختلال در فرآیندهای حرارتی، تغییرات در عرض خطوط روی ویفر، یا عدم ثبات سرعت حکاکی می‌شوند. ویفر، نشانه‌هایی از عدم یکنواختی دما را نشان می‌دهد؛ در نتیجه، محصولات تولید شده بی‌ارزش می‌شوند، نه فقط باعث توقف فرآیند تولید می‌شوند.</p> <p>از نظر فنی، آنچه اهمیت دارد، رفتار حرارتی قابل تکرار است. ما هیترها را به گونه‌ای طراحی می‌کنیم که یکنواختی دما در سطح ویفر در محدوده ±۰.۱ درجه سانتی‌گراد باشد؛ همچنین کنترل دما به گونه‌ای است که زمان پردازش کم باشد. منابع هالوژنی، انرژی موج کوتاه را فراهم می‌کنند تا گرمایش سریع و دقیق انجام شود؛ همچنین، ساختار کوارتزی، جرم حرارتی را کاهش می‌دهد و محیط را در حالت شیمیایی بی‌اثر نگه می‌دارد. در نتیجه، پروفایل حرارتی در هر بار پردازش، یکسان خواهد بود؛ چه برای فرآیندهای حرارتی ملایم برای تثبیت فوتورزیست، و چه برای فرآیندهای حرارتی شدید برای تثبیت تصویر قبل از حکاکی.</p>