http://qz-heating-ir.com/fa/tags/process/ Recent content in Process on Quartz IR Heating Experts Hugo fa Mon, 29 Jun 2026 06:58:30 +0800 http://qz-heating-ir.com/fa/posts/ashing-process-heating-infrared/ Mon, 29 Jun 2026 06:58:30 +0800 http://qz-heating-ir.com/fa/posts/ashing-process-heating-infrared/ <p><img src="http://qz-heating-ir.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="فرآیند خاکسترسازی، گرمایش با موجینفرار"></p> <p>در اتاق فرآیند لیتوگرافی، محفظه حرارتی مسئول تعیین دمای مناسب برای حذف فوتورزیست است. اگر دما حتی نیم درجه از مقدار مورد نظر فاصله بگیرد، باقی‌مانده‌های فوتورزیست باقی خواهد ماند؛ یا در بدترین حالت، به لایه‌های زیرین آسیب خواهد رسید. یک ویفر خراب می‌تواند باعث اختلال در کل فرآیند شود. استفاده از گرمایش مادون قرمز، به شما کمک می‌کند تا دمای مورد نظر را حفظ کنید.</p> <p><strong>آنچه از نظر فنی اهمیت دارد:</strong> ما از فرستنده‌های مادون قرمز کوتاه‌امواج برای انتقال گرما به داخل لایه‌های فوتورزیست استفاده می‌کنیم؛ این روش سریع، مستقیم و قابل پیش‌بینی است. یکنواختی دما در سراسر ویفر، در محدوده ±۰.۱ درجه سانتی‌گراد باقی می‌ماند. طراحی فرستنده‌ها به گونه‌ای است که هیچ ذره‌ای تولید نشود؛ این موضوع دقیقاً همان چیزی است که برای اتاق‌های تمیز درجه ۱ تا ۱۰۰ ضروری است. تکرارپذیری فرآیند نیز در حد ≤۰.۲٪ است، چه این فرآیند بعد از حرارت‌دهی ملایم، حرارت‌دهی شدید یا فرآیند اتاچ انجام شود.</p>