Sur le plan de production, un décalage de demi-degré pendant le séchage du photo-résiste suffit pour faire échouer toute une série de produits. On...

Sur le plan de la lithographie, la chambre d’incinération détermine le budget thermique nécessaire pour l’élimination du photo-résistant. Une...

Dans les usines de fabrication de semi-conducteurs, les fluctuations thermiques sont inacceptables. Une variation de la température pendant le...

Dans l’usine de fabrication, le support utilisé pour transporter les wafers, une fois sorti du système de nettoyage, ne doit pas entraîner d’humidité...

Sur le plan de lithographie, on connaît bien la procédure : les FOUP arrivent mouillées après nettoyage, et le temps presse. Si la température de...

Dans les usines de fabrication, les fluctuations thermiques pendant l’oxydation ne se manifestent pas seulement par des chiffres sur un graphique :...

Sur le site de fabrication, un problème lié au chauffage RTP ne se manifeste pas de manière évidente. Il se traduit par des variations dans la...

Sur le plan de fabrication, toute variation de la température dans la chambre se manifeste rapidement sous forme d’inégalités de épaisseur des...

Sur un site de fabrication en continu 24/7, il n’est pas possible de surveiller en permanence la polymérisation des adhésifs. Une déviation de...

Sur la ligne Cette plaque de 300 mm ne peut pas se permettre de dériver pendant le soft bake et le hard bake. Un point chaud de 2°C sur toute la...

Sur le plancher de fabrication Les excursions thermiques ne se manifestent pas avec un avertissement : elles se traduisent par une perte de...

Sur le plancher de production, les étapes de cuisson du photoresist ne tolèrent aucune dérive. Une cuisson douce à 90°C avec une dérive de ±2°C ?...

Sur le plancher de fabrication, la dérive thermique n’est pas un sujet de discussion — elle se mesure en dixièmes de degré. Augmenter la température...