Capteur IR de précision pour plaquette

Fri, 05 Jun 2026 04:07:08 +0800

Sur la ligne

Cette plaque de 300 mm ne peut pas se permettre de dériver pendant le soft bake et le hard bake. Un point chaud de 2°C sur toute la surface va décaler le CD, laisser des résidus et transformer un lot entier en déchets. Vous avez besoin d’un contrôle de température qui fonctionne comme un véritable paramètre de processus, et non comme une estimation.

Ce qui compte en interne

Nous avons conçu le capteur IR de précision pour le travail des wafers afin de maintenir une uniformité thermique de ±0,1°C sur la surface de cuisson. La répétabilité du point de consigne reste dans une plage de ±0,05°C d’un cycle à l’autre.
Il fonctionne dans des salles blanches de classe 1 à 100, avec des matériaux et des finitions qui ne génèrent pas de particules. Aucune désorption, aucune perte de matière et rien ne contaminant le photo-résist.
Il interagit avec des sources halogènes, quartz et NIR, et la réponse spectrale reste stable, garantissant une absorption cohérente sur le wafer. Vous bénéficiez d’une sortie stable pendant plus de 5 000 heures, avec moins de 5 % de dérive.

Chauffage à haute précision de température

Thu, 04 Jun 2026 03:31:30 +0800

Sur le plancher de fabrication

Les excursions thermiques ne se manifestent pas avec un avertissement : elles se traduisent par une perte de rendement. Un dérive de 0,5°C pendant la cuisson du photoresist suffit à pousser le contrôle des dimensions critiques en dehors des spécifications. Et une plaque chauffante qui n’est pas uniforme ? Vous verrez des marques d’eau après le séchage des wafers. Le coût n’est pas seulement du rebut : c’est un retard dans le planning.

Précision on Quartz IR Heating Experts

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