http://qz-heating-ir.com/fr/tags/proc%C3%A9d%C3%A9/ Recent content in Procédé on Quartz IR Heating Experts Hugo fr Mon, 29 Jun 2026 06:58:30 +0800 http://qz-heating-ir.com/fr/posts/ashing-process-heating-infrared/ Mon, 29 Jun 2026 06:58:30 +0800 http://qz-heating-ir.com/fr/posts/ashing-process-heating-infrared/ <p><img src="http://qz-heating-ir.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="Chaleur infrarouge pour le processus de cendrification"></p> <p>Sur le plan de la lithographie, la chambre d’incinération détermine le budget thermique nécessaire pour l’élimination du photo-résistant. Une déviation de demi-degré par rapport à la valeur cible peut entraîner des résidus – ou pire encore, des dommages à la couche située en dessous. Un seul wafer défectueux peut faire é<a href="https://o-yate.com">chouer</a> toute la production. Le chauffage par infrarouges permet d’obtenir le contrôle thermique souhaité.</p> <p><strong>Ce qui est important sur le plan technique</strong> Nous utilisons des émetteurs infrarouges à courte longueur d’onde pour transmettre la chaleur directement dans la couche de photo-résistant : cela se fait rapidement, de manière directe et de façon prévisible. La uniformité au niveau du wafer reste dans une <a href="https://goldisgood.com">fourchette</a> de ±0,1 °C pendant toute la durée du processus. La conception des émetteurs ne comporte pas de quartz, ce qui évite toute génération de particules – ce qui est essentiel dans des environnements de classe 1–100. La reproductibilité est de ≤0,2 % d’une cycle à l’autre, que le processus ait lieu après un séchage doux, un séchage fort ou un traitement d’etchage.</p>