מייבש FOUP (Front Opening Unified Pod)

בחדר הליתוגרפיה, כמו שאתם יודעים, התהליך מתנהל כך: ה-FOUPs מגיעים לאחר ניקוי במצב רטוב, והזמן כבר חולף. אם הטמפרטורה אינה תואמת את הערך הנדרש, החומר...