מחמם CVD (השקעת אדי כימיקלים)

בחדר הייצור, שינוי בטמפרטורה של החדר ניכר מיד – וזה גורם לחוסר אחידות בעובי השכבות ולירידה באיכות המוצר. לא ניתן לתקן את זה לאחר מכן. החימום חייב...