מחמם חלקי חילוף למכונות סמי מוליכים
בקו הייצור, שלבי האפייה של הפוטורזיסט אינם מאפשרים סטייה בטמפרטורה. אפייה רכה ב-90°C עם סטייה של ±2°C? זה גורם להתנפחות פרופיל הרזיסט, ושליטה על רוחב...
נורת חימום עם דימר ספקטרונית
על רצפת המפעל, סטייה תרמית אינה נושא לדיון – היא נמדדת בעשיריות מעלה. להעלות את טמפרטורת האפייה הרכה אפילו במעט, והבקרה הממדית של הפוטורזיסט יוצאת...