http://qz-heating-ir.com/he/tags/%D7%A0%D7%99%D7%A7%D7%95%D7%99/ Recent content in ניקוי on Quartz IR Heating Experts Hugo he Wed, 24 Jun 2026 04:03:25 +0800 http://qz-heating-ir.com/he/posts/wafer-carrier-cleaning-dryer/ Wed, 24 Jun 2026 04:03:25 +0800 http://qz-heating-ir.com/he/posts/wafer-carrier-cleaning-dryer/ <p><img src="http://qz-heating-ir.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="מייבש לניקוי נושאי הוופרים"></p> <p>בחדר הייצור, הנשא שעבר עיבוד בתנאי לחות גבוהה אינו יכול להביא את הלחות אל תוך חדר הליתוגרפיה. שאריות של חומרים וסימני מים פוגעים לא רק ביעילות הייצור – הם גם גורמים לצורך בעבודה חוזרת ומגבילים את האפשרויות התרמיות בתהליך הייצור הבא. המייבש חייב להביא ליובש אחיד, מבלי להוסיף חלקיקים או לגרום ללחץ תרמי על הנשא.</p> <p><strong>מה חשוב בתהליך הייבוש</strong><br> בנינו את מייבש הנשאים על בסיס חימום באמצעות קרינת אינפרא-אדום בגלים קצרים (NIR). קרינה זו חודרת ישירות לתוך המים ולשכבות הדקות, כך שניתן לייבש את הנשא מבלי לחמם אותו יתר על המידה. דבר זה מאפשר שדה תרמי אחיד ברמה של פחות ממילימטר אחד, מה שמביא לאחידות של ±0.1°C באזורים הקריטיים. האחידות נשמרת בזכות מערכת הניהול האוטומטית – כל מחזור יוצר את אותו תרשים טמפרטורות, כך שתנאי הייבוש נשארים יציבים. המערכת פועלת בחדרי ניקיון מדרגה 1–100, והיא מונעת יצירת חלקיקים במהלך הפעולה. גם מסלול הפליטה עובר בדיקות כדי למנוע חזרה של חלקיקים לתוך המערכת.</p>