מחמם חלקי חילוף למכונות סמי מוליכים

בקו הייצור, שלבי האפייה של הפוטורזיסט אינם מאפשרים סטייה בטמפרטורה. אפייה רכה ב-90°C עם סטייה של ±2°C? זה גורם להתנפחות פרופיל הרזיסט, ושליטה על רוחב...