http://qz-heating-ir.com/he/tags/process/ Recent content in Process on Quartz IR Heating Experts Hugo he Mon, 29 Jun 2026 06:58:31 +0800 http://qz-heating-ir.com/he/posts/ashing-process-heating-infrared/ Mon, 29 Jun 2026 06:58:31 +0800 http://qz-heating-ir.com/he/posts/ashing-process-heating-infrared/ <p><img src="http://qz-heating-ir.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="תהליך האשכול – חימום באמצעות אינפראאדום"></p> <p>בחדר האשכולות, מתקבע הפרמטר התרמי הנדרש להסרת הפוטורזיסט. סטייה של חצי מעלה מהערך המיועד עלולה לגרום להיווצרות של שאריות – או, במקרה הגרוע יותר, לפגיעה בשכבה שמתחת. ואם יש בעיה עם גליל אחד, כל התהליך עלול להידרדר. חימום באמצעות קרני אינפרא-אדום מאפשר שליטה מדויקת בפרמטרים התרמיים.</p> <p><strong>מה חשוב מבחינה טכנית?</strong> אנו משתמשים בגופי פליטה של קרני אינפרא-אדום באורך גל קצר, כדי להעביר חום ישירות לשכבת הפוטורזיסט – במהירות, בצורה ישירה ובצורה צפויה. האחידות בטמפרטורה על פני כל הגלילים נשמרת בטווח של ±0.1°C. עיצוב גופי הפליטה אינו כולל קוורץ, כך שאין יצירה של חלקיקים – דבר שחיוני לחדרי עבודה מסוג Class 1–100. השגרתיות של התהליך נשמרת בטווח של ≤0.2%, בין אם התהליך מתבצע לאחר חימום רך, חימום קשה או תהליך חריטה.</p>