Sensor IR presisi untuk wafer
Di luar jalur Wafer 300 mm itu tidak dapat mengalami drift melalui soft bake dan hard bake. Titik panas 2°C di seluruh bidang akan menggeser CD,...
Pemanas suhu presisi tinggi
Di lantai pabrik, lonjakan suhu tidak muncul dengan peringatan—mereka terlihat dari menurunnya hasil produksi. Perpindahan suhu sebesar 0,5°C selama...