Riscaldamento per processo di incenerimento a infrarossi

Mon, 29 Jun 2026 06:58:30 +0800

Nella sala di litografia, la camera di essiccazione determina il “budget termico” necessario per rimuovere il fotorester. Un errore di mezzo grado rispetto al valore desiderato può portare alla formazione di residui – o, peggio ancora, all’erosione dello strato sottostante. Un singolo chip difettoso può compromettere l’intero processo di produzione. Il riscaldamento a infrarossi permette di mantenere sotto controllo tale profilo termico.

Cosa è importante dal punto di vista tecnico
Utilizziamo emittori a onde corte a infrarossi per trasmettere calore direttamente nello strato di fotorester: in questo modo si ottiene una distribuzione rapida e precisa del calore. La uniformità su tutta la superficie del chip è inferiore a ±0,1°C. I dispositivi di emissione non contengono quarzo, quindi non si generano particelle, il che è fondamentale per ambienti di tipo Class 1–100. La ripetibilità del processo è inferiore allo 0,2%, indipendentemente dal passaggio successivo: essiccazione delicata, essiccazione intensiva o etching.

Ashing on Quartz IR Heating Experts

Riscaldamento per processo di incenerimento a infrarossi