Sensore IR di precisione per wafer
Sulla linea, quel wafer da 300 mm non può permettersi deragliamenti durante il soft bake e il hard bake. Un hotspot di 2°C su tutta la superficie...
Riscaldatore a temperatura ad alta precisione
Sulla fabbrica Le escursioni termiche non si manifestano con un avviso: si traducono in una perdita di rendimento. Una deviazione di 0.5°C durante la...