Riscaldamento a semiconduttori a risparmio energetico
Smettete di riscaldare l’aria e iniziate invece a riscaldare il prodotto stesso. Se state pianificando di costruire una fabbrica moderna, la prima...
Distanza di sicurezza per il riscaldamento della wafer
Perché l’irradiazione infrarossa è superiore all’uso dell’aria calda per le wafer
Se continuate a fare affidamento sulla circolazione dell’aria...
Riscaldamento per processo di incenerimento a infrarossi
Nella sala di litografia, la camera di essiccazione determina il “budget termico” necessario per rimuovere il fotorester. Un errore di mezzo grado...
Elemento riscaldante per ossidazione dei wafer
Nelle linee di produzione, le variazioni termiche durante l’ossidazione non si manifestano soltanto come dati numerici su un grafico: esse...