http://qz-heating-ir.com/ja/tags/%E3%83%88%E3%83%A9%E3%83%96%E3%83%AB%E3%82%B7%E3%83%A5%E3%83%BC%E3%83%86%E3%82%A3%E3%83%B3%E3%82%B0/ Recent content in トラブルシューティング on Quartz IR Heating Experts Hugo ja Sun, 21 Jun 2026 06:10:46 +0800 http://qz-heating-ir.com/ja/posts/troubleshooting-rtp-system-heater/ Sun, 21 Jun 2026 06:10:46 +0800 http://qz-heating-ir.com/ja/posts/troubleshooting-rtp-system-heater/ <p><img src="http://qz-heating-ir.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="RTPシステムのヒーターのトラブルシューティング"></p> <p>ファブの現場では、RTPヒーターに問題があっても、それがすぐにはわからないことがあります。その問題は、ソフトベイク時の寸法のばらつきや、露光後の線幅の変動、またはエッチング速度が安定しないといった形で現れます。ウェーハには温度分布の不均一性が表れ、その結果、廃棄処分になってしまいます。これは単なる生産停止だけでなく、大きな損失です。</p>