http://qz-heating-ir.com/ja/tags/%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%83%A4%E3%83%BC/ Recent content in ドライヤー on Quartz IR Heating Experts Hugo ja Wed, 24 Jun 2026 04:03:25 +0800 http://qz-heating-ir.com/ja/posts/wafer-carrier-cleaning-dryer/ Wed, 24 Jun 2026 04:03:25 +0800 http://qz-heating-ir.com/ja/posts/wafer-carrier-cleaning-dryer/ <p><img src="http://qz-heating-ir.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="ウェーハキャリア洗浄乾燥機"></p> <p>ファブの現場では、スクラバーから出てくるウェットプロセス用のキャリアには、水分をリソグラフィーベイ内に持ち込むことができません。残留する膜や水分の影響により、歩留まりが低下するだけでなく、再加工が必要になり、次の焼成処理時の熱負荷も増加します。そのため、ドライヤーは、粒子を混入させず、キャリアに過度な熱を与えないように、安定した乾燥状態を<a href="https://o-yate.net">実現</a>する必要があります。</p> http://qz-heating-ir.com/ja/posts/foup-front-opening-unified-pod-dryer/ Mon, 22 Jun 2026 23:50:58 +0800 http://qz-heating-ir.com/ja/posts/foup-front-opening-unified-pod-dryer/ <p><img src="http://qz-heating-ir.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="FOUP フロントオープニング・ユニファイド・ポッド 式乾燥機"></p> <p>リソグラフィーの現場では、よく知られている通り、洗浄後のFOUPは湿った状態で運ばれてきます。そのため、時間との勝負になります。もし加熱条件が少しでも狂ってしまうと、フォトレジストが適切に硬化せず、表面に膜ができてしまいます。そうなると、生産効率を上げるどころか、不良品が増えてしまいます。私たちは、このような問題が起こる前にそれを防ぐためのFOUP乾燥装置を開発しました。</p>