http://qz-heating-ir.com/ja/tags/%E3%83%95%E3%82%A9%E3%82%A6%E3%83%97/ Recent content in フォウプ on Quartz IR Heating Experts Hugo ja Mon, 22 Jun 2026 23:50:58 +0800 http://qz-heating-ir.com/ja/posts/foup-front-opening-unified-pod-dryer/ Mon, 22 Jun 2026 23:50:58 +0800 http://qz-heating-ir.com/ja/posts/foup-front-opening-unified-pod-dryer/ <p><img src="http://qz-heating-ir.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="FOUP フロントオープニング・ユニファイド・ポッド 式乾燥機"></p> <p>リソグラフィーの現場では、よく知られている通り、洗浄後のFOUPは湿った状態で運ばれてきます。そのため、時間との勝負になります。もし加熱条件が少しでも狂ってしまうと、フォトレジストが適切に硬化せず、表面に膜ができてしまいます。そうなると、生産効率を上げるどころか、不良品が増えてしまいます。私たちは、このような問題が起こる前にそれを防ぐためのFOUP乾燥装置を開発しました。</p>