乾燥 on Quartz IR Heating Experts

MEMSセンサーワイヤー用乾燥ヒーター

Wed, 22 Jul 2026 04:38:17 +0800

MEMSウェーハの適切な乾燥方法
MEMSセンサー用ウェーハを乾燥させるのは、かなり難しい作業です。熱制御を適切に行わなければ、粘着や表面張力の影響でセンサーが損傷してしまいます。これを解決するために、赤外線ヒーターを使用して余分な液体を素早く蒸発させます。重要なのは、繊細な膜を壊さずに水分を除去することです。

熱のコントロール
熱量を適切にコントロールする必要があります。迅速に乾燥させるためには、強力なエネルギーが必要です。しかし、ワット数が低すぎると乾燥に時間がかかり、水滴が残ってしまいます。一方、ワット数が高すぎるとウェーハが変形してしまいます。つまり、バランスを取る必要があります。私たちは電圧とワット数を調整して、表面に均等に熱が当たるようにします。ただし、高出力のランプを使用する場合は、チassisの冷却機能も十分でなければなりません。そうでないと、過剰な熱が発生してしまいます。

工場乾燥設備のエネルギー審査

Thu, 09 Jul 2026 04:42:54 +0800

はじめに

想像してみてください。すべてがデータと精密さによって制御されるスマートファクトリーを構築しようとしているとします。そんな場所では、不安定で遅い加熱源など、絶対に許されません。
だからこそ、私たちは高出力のハロゲン素子を利用した赤外線乾燥システムを開発しました。これらの素子は、瞬時に集中した熱を供給する優れた性能を持っています。細部に至るまで正確に制御できます。このシステムを自動化された作業フローに組み込むことで、加熱処理を予測可能で管理しやすいものに変えることができます。

リンスランプ後の速乾ウエーハ

Thu, 02 Jul 2026 08:36:23 +0800

ファブ内では、洗浄の質は乾燥の質次第です。洗浄後に残る水分や水痕、ストリークといったものが、特に28ナノメートル以下のサイズのウェーハでは、生産性を急速に低下させます。通常のホットプレートを使うと、温度変動が生じ、チャックが上下に動くたびに粒子が発生します。

そこで、迅速かつ正確に乾燥させるために、迅速なポスト洗浄用ランプドライヤーが必要です。

内部構造上重要な点 当社のランプは、石英製のケース内に短波長赤外線ハロゲンエミッターを搭載しています。応答速度が速く、そのスペクトルは水の吸収帯にちょうど合致しています。ウェーハ全体の温度ムラは±0.1℃以内に抑えられ、そのおかげで、ウェーハがソフトベイクやハードベイクの工程に移る際にもフォトレジストの品質が保持されます。