http://qz-heating-ir.com/ja/tags/%E6%A9%9F%E6%A2%B0/ Recent content in 機械 on Quartz IR Heating Experts Hugo ja Tue, 02 Jun 2026 06:03:02 +0800 http://qz-heating-ir.com/ja/posts/semiconductor-machinery-spare-parts-heater/ Tue, 02 Jun 2026 06:03:02 +0800 http://qz-heating-ir.com/ja/posts/semiconductor-machinery-spare-parts-heater/ <p><img src="http://qz-heating-ir.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="半導体機械予備部品ヒーター"></p> <p>ファブフロアでは、フォトレジストのベーク工程においてドリフトの余裕はほとんどありません。90℃でのソフトベークが±2℃のドリフトを起こすと、レジストのプロファイルが膨張し、ライン幅の制御に影響を与えます。必要なのは、ウェーハ全体で温度を一定に保持するヒーターであり、変動するものではありません。</p>