http://qz-heating-ir.com/ja/tags/%E6%B2%88%E6%AE%BF%E7%89%A9/ Recent content in 沈殿物 on Quartz IR Heating Experts Hugo ja Fri, 19 Jun 2026 05:57:31 +0800 http://qz-heating-ir.com/ja/posts/cvd-chemical-vapor-deposition-heater/ Fri, 19 Jun 2026 05:57:31 +0800 http://qz-heating-ir.com/ja/posts/cvd-chemical-vapor-deposition-heater/ <p><img src="http://qz-heating-ir.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="CVD 化学気相成長 ヒーター"></p> <p><a href="https://henruite.com">製造現場</a>では、チャンバー内の温度が不安定になると、すぐにウェハの厚みの不均一や歩留まりの低下といった問題が発生します。一度そうなってしまうと、後から対処することはできません。したがって、ヒーターは最初のウェハから最後のウェハまで、一貫して安定した<a href="https://o-yate.com">熱条件</a>を保つ必要があります。</p> <h3 id="技術的に重要な点">技術的に重要な点</h3> <p>私たちは、石英ガラスの背後にある短波長赤外線ハロゲン素子を利用したCVDヒーターを開発しました。このヒーターにより、熱が直接基板に伝わり、ウェハ全体の温度のばらつきは±0.1℃以内に抑えられます。また、熱分布は繰り返し一定に保たれるため、熱的なバランスも維持されます。</p>