http://qz-heating-ir.com/ja/tags/%E6%B8%85%E6%8E%83/ Recent content in 清掃 on Quartz IR Heating Experts Hugo ja Wed, 24 Jun 2026 04:03:25 +0800 http://qz-heating-ir.com/ja/posts/wafer-carrier-cleaning-dryer/ Wed, 24 Jun 2026 04:03:25 +0800 http://qz-heating-ir.com/ja/posts/wafer-carrier-cleaning-dryer/ <p><img src="http://qz-heating-ir.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="ウェーハキャリア洗浄乾燥機"></p> <p>ファブの現場では、スクラバーから出てくるウェットプロセス用のキャリアには、水分をリソグラフィーベイ内に持ち込むことができません。残留する膜や水分の影響により、歩留まりが低下するだけでなく、再加工が必要になり、次の焼成処理時の熱負荷も増加します。そのため、ドライヤーは、粒子を混入させず、キャリアに過度な熱を与えないように、安定した乾燥状態を<a href="https://o-yate.net">実現</a>する必要があります。</p>