http://qz-heating-ir.com/ja/tags/%E6%B8%A9%E5%BA%A6/ Recent content in 温度 on Quartz IR Heating Experts Hugo ja Thu, 23 Jul 2026 11:38:34 +0800 http://qz-heating-ir.com/ja/posts/temperature-sensor-for-wafer-tool/ Thu, 23 Jul 2026 11:38:34 +0800 http://qz-heating-ir.com/ja/posts/temperature-sensor-for-wafer-tool/ <p><img src="http://qz-heating-ir.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="ウェーハ処理装置用温度センサー"></p> <p>ウェーハを破壊するようなランプの破損を防ごう<br> <a href="https://o-yate.com">大量生産用</a>のウェーハ処理装置では、ランプが破損すると、単なる面倒な問題や短時間の停止にとどまりません。それはまさに悪夢です。<br> 石英製のケースが破裂すると、ガラスの破片や蒸発したタングステンがウェーハの上に降り注ぎます。これにより、一括してウェーハがダメになってしまいます。その後は、チャンバー全体をきれいにする作業が待っています。誰も<a href="https://goldisgood.com">週末</a>をその作業に費やしたくありません。</p> http://qz-heating-ir.com/ja/posts/high-precision-temperature-heater/ Thu, 04 Jun 2026 03:31:30 +0800 http://qz-heating-ir.com/ja/posts/high-precision-temperature-heater/ <p><img src="http://qz-heating-ir.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="高精度温度ヒーター"></p> <p>ファブフロアでは、熱の逸脱は警告として現れることはなく、歩留まりの低下として現れる。フォトレジストのベーク中に0.5℃のドリフトが発生するだけで、重要寸法の管理が仕様外に押し出される。均一でないホットプレートでは、ウェハ乾燥後にウォーターマークが発生する。損失はスクラップだけでなく、スケジュール遅延も伴う。</p>