http://qz-heating-ir.com/ja/tags/%E9%80%9F%E3%81%84/ Recent content in 速い on Quartz IR Heating Experts Hugo ja Thu, 02 Jul 2026 08:36:23 +0800 http://qz-heating-ir.com/ja/posts/fast-drying-wafer-after-rinse-lamp/ Thu, 02 Jul 2026 08:36:23 +0800 http://qz-heating-ir.com/ja/posts/fast-drying-wafer-after-rinse-lamp/ <p><img src="http://qz-heating-ir.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="リンスランプ後の速乾ウエーハ"></p> <p>ファブ内では、洗浄の質は乾燥の質次第です。洗浄後に残る水分や<a href="https://o-yate.com">水痕</a>、ストリークといったものが、特に28ナノメートル以下のサイズのウェーハでは、生産性を急速に低下させます。<a href="https://henruite.com">通常</a>のホットプレートを使うと、温度変動が生じ、チャックが上下に動くたびに粒子が発生します。</p> <p>そこで、迅速かつ正確に乾燥させるために、迅速なポスト洗浄用ランプドライヤーが必要です。</p> <p><strong>内部構造上重要な点</strong> 当社のランプは、石英製のケース内に短波長赤外線ハロゲンエミッターを搭載しています。<a href="https://o-yate.net">応答速度</a>が速く、そのスペクトルは水の吸収帯にちょうど合致しています。ウェーハ全体の温度ムラは±0.1℃以内に抑えられ、そのおかげで、ウェーハがソフトベイクやハードベイクの工程に移る際にもフォトレジストの品質が保持されます。</p>