http://qz-heating-ir.com/ja/tags/mems/ Recent content in MEMS on Quartz IR Heating Experts Hugo ja Wed, 22 Jul 2026 04:38:17 +0800 http://qz-heating-ir.com/ja/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ Wed, 22 Jul 2026 04:38:17 +0800 http://qz-heating-ir.com/ja/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://qz-heating-ir.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="MEMSセンサーワイヤー用乾燥ヒーター"></p> <p>MEMSウェーハの適切な乾燥方法<br> MEMSセンサー用ウェーハを乾燥させるのは、かなり難しい作業です。<a href="https://o-yate.net">熱制御</a>を適切に行わなければ、粘着や表面張力の影響でセンサーが損傷してしまいます。これを解決するために、赤外線ヒーターを使用して余分な液体を素早く蒸発させます。重要なのは、繊細な膜を壊さずに水分を除去することです。</p> <p><strong>熱のコントロール</strong><br> 熱量を適切にコントロールする必要があります。迅速に乾燥させるためには、強力なエネルギーが必要です。しかし、ワット数が低すぎると乾燥に時間がかかり、水滴が残ってしまいます。一方、ワット数が高すぎるとウェーハが変形してしまいます。つまり、バランスを取る必要があります。私たちは電圧とワット数を調整して、表面に均等に熱が当たるようにします。ただし、高出力のランプを使用する場合は、チassisの冷却機能も十分でなければなりません。そうでないと、過剰な熱が発生してしまいます。</p>