http://qz-heating-ir.com/ko/tags/%EA%B1%B4%EC%A1%B0%EA%B8%B0/ Recent content in 건조기 on Quartz IR Heating Experts Hugo ko Wed, 24 Jun 2026 04:03:25 +0800 http://qz-heating-ir.com/ko/posts/wafer-carrier-cleaning-dryer/ Wed, 24 Jun 2026 04:03:25 +0800 http://qz-heating-ir.com/ko/posts/wafer-carrier-cleaning-dryer/ <p><img src="http://qz-heating-ir.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="웨이퍼 캐리어 청소 건조기"></p> <p>제조 현장에서는, 세척기에서 나온 습식 처리된 웨이퍼 운반체가 리소그래피 공정으로 수분을 가져갈 수 없습니다. 잔여된 필름과 물자국들은 생산 효율을 떨어뜨릴 뿐만 아니라, 재작업을 유발하고 다음 가열 공정에서의 열적 부하를 증가시킵니다. 따라서 건조기는 입자를 추가하지 않으면서도 웨이퍼 운반체에 과도한 열을 가하지 않고 일관된 건조 상태를 유지해야 합니다.</p> http://qz-heating-ir.com/ko/posts/foup-front-opening-unified-pod-dryer/ Mon, 22 Jun 2026 23:50:58 +0800 http://qz-heating-ir.com/ko/posts/foup-front-opening-unified-pod-dryer/ <p><img src="http://qz-heating-ir.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="FOUP(프론트 오픈 유니파이드 포드) 건조기"></p> <p>리소그래피 공정에서는 잘 알려진 원칙이 있습니다. 세척이 끝난 후 FOUP들은 젖은 상태로 들어오며, 시간도 계속 흘러갑니다. 만약 건조 과정에서 약간이라도 오차가 생기면, 포토레지스트가 제대로 경화되지 않고 표면에만 쌓이게 됩니다. 그러면 결함을 수정하는 데 시간이 더 많이 소요되게 됩니다. 우리는 이러한 문제를 사전에 방지하기 위해 FOUP 건조기를 개발했습니다.</p>