http://qz-heating-ir.com/ko/tags/%EC%86%8C%EA%B0%81/ Recent content in 소각 on Quartz IR Heating Experts Hugo ko Mon, 29 Jun 2026 06:58:30 +0800 http://qz-heating-ir.com/ko/posts/ashing-process-heating-infrared/ Mon, 29 Jun 2026 06:58:30 +0800 http://qz-heating-ir.com/ko/posts/ashing-process-heating-infrared/ <p><img src="http://qz-heating-ir.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="소각 공정용 가열 적외선"></p> <p>리소그래피 공정에서는 아싱 챔버가 포토레지스트를 제거하는 데 필요한 열조건을 결정합니다. 설정된 온도에서 0.5도만 벗어나도 잔여물이 남거나, 더 심한 경우 아래층에 손상이 생길 수 있습니다. 단 한 개의 웨이퍼만 문제가 되어도 전체 공정이 망가질 수 있습니다. 적외선 가열을 이용하면 원하는 열조건을 유지할 수 있습니다.</p>