http://qz-heating-ir.com/ko/tags/%ED%8F%AC%EB%93%9C/ Recent content in 포드) on Quartz IR Heating Experts Hugo ko Mon, 22 Jun 2026 23:50:58 +0800 http://qz-heating-ir.com/ko/posts/foup-front-opening-unified-pod-dryer/ Mon, 22 Jun 2026 23:50:58 +0800 http://qz-heating-ir.com/ko/posts/foup-front-opening-unified-pod-dryer/ <p><img src="http://qz-heating-ir.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="FOUP(프론트 오픈 유니파이드 포드) 건조기"></p> <p>리소그래피 공정에서는 잘 알려진 원칙이 있습니다. 세척이 끝난 후 FOUP들은 젖은 상태로 들어오며, 시간도 계속 흘러갑니다. 만약 건조 과정에서 약간이라도 오차가 생기면, 포토레지스트가 제대로 경화되지 않고 표면에만 쌓이게 됩니다. 그러면 결함을 수정하는 데 시간이 더 많이 소요되게 됩니다. 우리는 이러한 문제를 사전에 방지하기 위해 FOUP 건조기를 개발했습니다.</p>