http://qz-heating-ir.com/ko/tags/rtp/ Recent content in RTP on Quartz IR Heating Experts Hugo ko Sun, 21 Jun 2026 06:10:46 +0800 http://qz-heating-ir.com/ko/posts/troubleshooting-rtp-system-heater/ Sun, 21 Jun 2026 06:10:46 +0800 http://qz-heating-ir.com/ko/posts/troubleshooting-rtp-system-heater/ <p><img src="http://qz-heating-ir.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="RTP 시스템 히터의 문제 해결"></p> <p>제조 공정에서 RTP 히터의 문제는 명백하게 드러나지 않습니다. 대신, 소프트 베이크 과정에서의 온도 변동이나 노출 후 선의 굵기 변화, 혹은 에칭 속도가 일정하지 않은 현상으로 나타납니다. 웨이퍼에는 온도 불균일성의 흔적이 남으며, 그 결과 웨이퍼는 폐기되게 됩니다. 단순히 생산이 중단되는 것뿐만 아니라 막대한 손실이 발생합니다.</p>