http://qz-heating-ir.com/ms/tags/proses/ Recent content in Proses on Quartz IR Heating Experts Hugo ms Mon, 29 Jun 2026 06:58:31 +0800 http://qz-heating-ir.com/ms/posts/ashing-process-heating-infrared/ Mon, 29 Jun 2026 06:58:31 +0800 http://qz-heating-ir.com/ms/posts/ashing-process-heating-infrared/ <p><img src="http://qz-heating-ir.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="Proses pengeringan menggunakan haba inframerah."></p> <p>Di bahagian litografi, bilik pemanasan digunakan untuk menentukan suhu yang sesuai untuk menghilangkan bahan fotoresist tersebut. Jika suhu berbeza sedikit daripada nilai yang ditetapkan, ia akan menyebabkan sisa bahan fotoresist tertinggal, atau lebih teruk lagi, merosakkan lapisan di bawahnya. Satu keping wafer yang rosak saja sudah cukup untuk merosakkan keseluruhan proses pengeluaran. Pemanasan menggunakan sinar inframerah membolehkan kita mengawal suhu dengan tepat.</p> <p><strong>Apa yang penting dari segi teknikal</strong><br> Kita menggunakan penghasil sinar inframerah gelombang pendek untuk <a href="https://o-yate.com">menghantar</a> haba secara langsung ke lapisan fotoresist. Ini memastikan proses pemanasan berlaku dengan cepat dan efisien. Konsistensi suhu pada <a href="https://o-yate.net">setiap</a> keping wafer adalah dalam lingkungan ±0.1°C. Reka bentuk penghasil sinar inframerah ini tidak menggunakan bahan kuarsa, jadi tiada partikel yang terbentuk, yang sangat penting untuk mencapai standard bilik bersih kelas 1–100. Ketepatan proses pemanasan adalah ≤0.2%, sama ada selepas proses pembakaran lembut, pembakaran keras, atau proses etching.</p>