Het verkorten van de cyclustijden in de halfgeleiderverwerking digitale IR controle versus hete luchtcirculatie
Waarom we voor digitale infrarode technologie kiezen Denk eens na over hoe een gewone convectieoven werkt. Je verwarmt de lucht, en die lucht...
Reinigingsdroger voor waferdragers
Op de productielijn kan een drager die met een natte behandeling is gereinigd, de vochtigheid niet meenemen naar de lithografiecel. Overblijvende...
FOUP (Front Opening Unified Pod) droger
Op de lithografieafdeling is het proces bekend: de FOUP’s komen na het reinigen nat aan, en de tijd dringt. Als de verhitting niet precies op het...