Reinigingsdroger voor waferdragers

Wed, 24 Jun 2026 04:03:25 +0800

Op de productielijn kan een drager die met een natte behandeling is gereinigd, de vochtigheid niet meenemen naar de lithografiecel. Overblijvende filmlagen en watersporen verminderen niet alleen de opbrengst, maar vereisen ook herwerkzaamheden en beperken bovendien het mogelijk aantal ovensbeurten. De droger moet een consistente droogte bereiken, zonder dat er nieuwe deeltjes worden gegenereerd of dat de drager te veel wordt belast door hitte.

Wat belangrijk is onder de motorkap
Wij hebben de droger voor het reinigen van waferdragers ontworpen met behulp van kortegolffrequent infraroodverwarming (NIR). NIR dringt recht door water en dunne lagen heen, zodat de drager niet te heet wordt. Hierdoor ontstaat er een uniforme temperatuur over het oppervlak van de drager, met een nauwkeurigheid van ±0,1°C in de kritische zone. De herhaalbaarheid wordt gewaarborgd door de lampen en het gesloten regelsysteem: elke cyclus leidt tot dezelfde temperatuurverschillen. Hierdoor worden de condities tijdens het drogen stabiel gehouden. Het systeem kan worden gebruikt in schone ruimtes van klasse 1–100. Er wordt geen sprake van deeltjevorming tijdens het gebruik, en de uitlaatweg is zo ontworpen dat er geen deeltjes terugkeren in het systeem.

FOUP (Front Opening Unified Pod) droger

Mon, 22 Jun 2026 23:50:58 +0800

Op de lithografieafdeling is het proces bekend: de FOUP’s komen na het reinigen nat aan, en de tijd dringt. Als de verhitting niet precies op het juiste niveau is, zal de fotoresist niet goed drogen. Hierdoor ontstaan er defecten in plaats van producten die voldoen aan de specificaties. We hebben de FOUP-droger ontworpen om dit probleem te voorkomen, voordat het zelfs maar kan beginnen.

Wat belangrijk is onder het motorkapje We houden de thermische uniformiteit op het niveau van ±0,1°C, zodat elke chip dezelfde warmtetoevoer krijgt. Korte golflengten IR-straling zorgen voor een snelle en directe verwarming, met een lage thermische inertie. Dit zorgt er ook voor dat de verhitzingsproces nauwkeurig wordt gecontroleerd. De kamer is geschikt voor gebruik in een schone ruimte van klasse 1–100. De materialen en afsluitingen zijn zodanig gekozen dat er geen vuildeeltjes worden gegenereerd. De nauwkeurigheden worden bereikt door gecalibreerde sensoren en een algoritme dat rekening houdt met verschillen in massa en omgevingscondities. De apparatuur kan 24/7 draaien, en er zijn geen onverwachte stilstanden gemeld tijdens langdurig gebruik.

Droger on Quartz IR Heating Experts

Reinigingsdroger voor waferdragers

FOUP (Front Opening Unified Pod) droger