Sensor on Quartz IR Heating Experts

Temperatuursensor voor waferopstelling

Thu, 23 Jul 2026 11:38:34 +0800

Voorkom dat kapotte lampen je wafers beschadigen
In apparaten die veel wafers verwerken, is het kapotgaan van een lamp meer dan alleen een lastig probleem of wat stilstand. Het is een nachtmerrie.
Als de kwartskamer barst, vallen er scherpe glasdeeltjes en geëvaporeerd wolfraam op de wafers. Dat betekent dat de hele lading wafers onbruikbaar wordt. Daarnaast moet de hele kamer grondig worden schoongemaakt. Niemand wil zijn weekend besteden aan zulke klusjes.

Omgaan met de hitte
We bouwen onze infraroodlampen zo dat ze bestand zijn tegen de constante, strenge omstandigheden in semiconductieapparaten. Meestal gaan lampen kapot omdat de thermische uitzetting oneffen is – het glas kan de temperatuurschommelingen niet bijhouden.
Om dit op te lossen gebruiken we synthetisch kwarts van hoge zuiverheid. Dit materiaal is sterk en kan de snelle temperatuurschommelingen doorstaan zonder te breken.
Maar we stoppen daar niet bij. We gebruiken ook een ‘veiligheidsnetwerk’: we wikkelen de emissoren in een broodschaalbestendige huls of gebruiken een speciale laag. Op deze manier blijven de brokstukken binnenin zitten, zodat ze je producten niet beschadigen.

HEATER VOOR DROGEN VAN MEMS SENSORMOLDPLAKJES

Wed, 22 Jul 2026 04:38:17 +0800

Het correct drogen van MEMS-chips
Het drogen van MEMS-sensorschijven vereist veel precisie. Als de thermische controle niet goed wordt uitgevoerd, kan dat leiden tot problemen als sticking of oppervlaktespanning, waardoor de sensoren beschadigd raken. Om dit te voorkomen gebruiken we infraroodverwarmingselementen om eventuele overtollige vloeistoffen snel te verdampen. Het doel is om het vocht te verwijderen zonder de kwetsbare membranen te beschadigen.

De krachtproef
Als het gaat om de warmtestroom, heeft men een sterke energiestoot nodig om het proces snel af te ronden. Het probleem is dat als de vermogenssterkte te laag is, het droogproces langzaam verloopt en er watervlekken ontstaan. Maar als de vermogenssterkte te hoog is, kan de chip beschadigen. Het is dus een kwestie van evenwicht vinden. We passen de spanning en vermogenssterkte aan zodat de warmte gelijkmatig op het oppervlak terechtkomt. Onthoud dat als je lampen met hoge vermogens gebruikt, de koeling van het apparaat ook goed moet werken, anders zal er te veel stralingswarmte vrijkomen.

Verwarmer voor de fabricage van waterstofsensoren

Tue, 21 Jul 2026 03:50:51 +0800

Het goed regelen van IR-systemen in je waterstofsensorlijn

Het maken van waterstofsensoortjes vereist enige balansvinding. De thermische cycli moeten perfect zijn; anders werken de membraanstructuren niet goed en blijven de katalysatoren niet plakken.
Als je nog steeds gebruikmaakt van ouderwetse convectieovens, gok je eigenlijk maar wat. In een moderne ‘smart Fab’ maken we gebruik van hoogdichte infraroodsystemen. Waarom? Omdat je de warmte dan gemakkelijk kunt digitaliseren. Hierdoor wordt de thermische energie omgezet in een datasysteem dat communiceert met de rest van de apparatuur.

Slim sensormateriaal infrarood

Mon, 13 Jul 2026 14:46:30 +0800

Infrarood versus hete lucht: wat werkt eigenlijk het beste voor het verpakken van sensoren?
Als je nog steeds gebruikmaakt van hete lucht voor de verwerking van halfgeleiders, betaal je in feite elke dag een soort ‘tijdbelasting’.

Denk eens na over hoe een convectieoven werkt: je verwarmt eerst de lucht, en vervolgens verwarmt die lucht weer het onderdeel. Het is dus een systeem met een tussenschakel. Infraroodstraling daarentegen werkt zonder deze tussenschakel: het gebruikt elektromagnetische straling om energie rechtstreeks in het verpakkingsmateriaal van de sensor te krijgen.

Precisie IR sensor voor wafer

Fri, 05 Jun 2026 04:07:08 +0800

Op de lijn

Die 300 mm wafer kan geen drift veroorloven tijdens de soft bake en hard bake. Een hotspot van 2°C over het veld zal de CD verschuiven, schilfers achterlaten en een hele batch tot schroot maken. Je hebt temperatuurregeling nodig die functioneert als een echt procesparameter, niet als een beste gok.

Wat er onder de motorkap belangrijk is

We hebben de precisie IR-sensor voor waferwerk ontwikkeld om een thermische uniformiteit van ±0,1°C over het bakoppervlak te behouden. De herhaalbaarheid van de instelwaarde blijft binnen ±0,05°C van run tot run.
Het werkt in cleanroom Class 1–100, met materialen en afwerkingen die geen deeltjes afgeven. Geen uitgassing, geen afschilfering en niets dat de fotoresist verontreinigt.
Het werkt samen met halogeen-, quartz- en NIR-bronnen, en de spectrale respons blijft stabiel, zodat de absorptie consistent is over de wafer. Je krijgt een stabiele output na meer dan 5.000 uur, met minder dan 5% drift.