Rurka kwarcowa do lampy FIR fabrycznej
Na linii produkcyjnej wystarczy półstopniowy błąd podczas procesu wypalania fotoodpornika, aby cała partia produktów poszła na marne. Do szybkiego...
Proces spalania podgrzewanie promieniowaniem podczerwonym
Na obszarze zajmowanym przez urządzenia do litografii, komora do spalania pyłów określa parametry termiczne niezbędne do usunięcia fotorezystu. Nawet...
Lampa podczerwona do wyżarzania półprzewodników
W hali produkcyjnej odchylenia temperatury są nie do przyjęcia. Nawet niewielka zmiana temperatury podczas procesu łagodnego lub intensywnego...
Suszarka do czyszczenia nośników waferów
Na linii produkcyjnej nośnik po obróbce wilgotnościowej nie może przenosić wilgoci do stanowiska litograficznego. Pozostałości filmów i ślady wody...
Suszarka FOUP (Front Opening Unified Pod)
Na stanowisku litograficznym zasady są jasne: po czyszczeniu FOUP-y wracają do środowiska wilgotnego, a czas już biegnie. Jeśli proces wysuszania nie...
Element grzejny do utleniania płytek krzemowych
Na linii produkcyjnej, wahania temperatury podczas procesu utleniania nie objawiają się tylko jako liczby na wykresie – one bezpośrednio wpływają na...
Rozwiązywanie problemów z grzałką w systemie RTP
Na linii produkcyjnej awaria grzałki RTP nie objawia się żadnymi wyraźnymi symptomami. Objawia się ona jako niestabilność temperatury podczas procesu...
Grzejnik CVD (Chemical Vapor Deposition)
Na linii produkcyjnej nagłe zmiany temperatury w komorze objawiają się szybko – jako nierównomierność grubości warstwy oraz spadek wydajności...
Utwardzanie podczerwienią dla kleju do półprzewodników
Na hali produkcyjnej pracującej 24/7 nie ma czasu na nadzór nad procesem utwardzania kleju. Jedna odchyłka temperatury, jedno nieregularne pieczenie,...
Czujnik IR o wysokiej precyzji do wafli
Na linii Ta wafle o średnicy 300 mm nie mogą sobie pozwolić na dryf podczas miękkiego i twardego pieczenia. Miejsce o temperaturze 2°C wyższej na...
Wysokoprecyzyjny podgrzewacz temperatury
Na podłodze fabrycznej, wahania temperatury nie pojawiają się z ostrzeżeniem—pojawiają się jako utrata wydajności. Odchylenie o 0,5°C podczas...
Grzałka części zamiennych do maszyn półprzewodnikowych
Na hali produkcyjnej etapy wypalania fotooporu nie dają marginesu na dryf. Miękkie wypalanie w 90°C z dryfem ±2°C? To powoduje spuchnięcie profilu...
Ściemnialna lampa grzewcza z półprzewodnikiem
Na hali produkcyjnej dryf termiczny nie jest kwestią dyskusji — mierzy się go w dziesiątych częściach stopnia. Jeśli podniesiesz temperaturę...