http://qz-heating-ir.com/pl/tags/proces/ Recent content in Proces on Quartz IR Heating Experts Hugo pl Mon, 29 Jun 2026 06:58:30 +0800 http://qz-heating-ir.com/pl/posts/ashing-process-heating-infrared/ Mon, 29 Jun 2026 06:58:30 +0800 http://qz-heating-ir.com/pl/posts/ashing-process-heating-infrared/ <p><img src="http://qz-heating-ir.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="Proces spalania podgrzewanie promieniowaniem podczerwonym"></p> <p>Na obszarze zajmowanym przez urządzenia do litografii, komora do spalania pyłów określa parametry termiczne <a href="https://goldisgood.com">niezb</a>ędne do usunięcia fotorezystu. Nawet niewielka odchylenie od ustalonego punktu może skutkować pozostawieniem resztek fotorezystu – a co gorsza, może uszkodzić warstwę znajdującą się poniżej. Jeden zepsuty krążek może doprowadzić do awarii całej linii produkcyjnej. Podgrzewanie podczerwienią umożliwia kontrolowanie tych parametrów.</p> <p><strong>Co jest istotne z technicznego punktu widzenia?</strong> Używamy emiterów podczerwonego światła o krótkich falach, aby ciepło docierało bezpośrednio do warstwy fotorezystu – szybko, bezpośrednio i w sposób przewidywalny. Jednolitość temperatury na powierzchni krążka wynosi ±0,1°C przez cały proces produkcji. Konstrukcja emiterów nie zawiera kwarcu, więc nie powstają żadne cząsteczki, co jest kluczowe dla zachowania standardów czystości w pomieszczeniach klasy 1–100. Powtórność procesu wynosi ≤0,2%, bez względu na to, czy proces następuje po delikatnym lub intensywnym podgrzewaniu, czy po procesie etchingu.</p>