http://qz-heating-ir.com/pt/tags/cinzera%C3%A7%C3%A3o/ Recent content in Cinzeração on Quartz IR Heating Experts Hugo pt Mon, 29 Jun 2026 06:58:30 +0800 http://qz-heating-ir.com/pt/posts/ashing-process-heating-infrared/ Mon, 29 Jun 2026 06:58:30 +0800 http://qz-heating-ir.com/pt/posts/ashing-process-heating-infrared/ <p><img src="http://qz-heating-ir.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="Processo de aquecimento por infravermelho para cinzamento"></p> <p>No setor de litografia, a câmara de eliminação de resíduos determina o balanço térmico necessário para a remoção do fotoresistente. Qualquer desvio de meio grau em relação ao ponto de referência pode causar resíduos – ou, pior ainda, danos à camada abaixo dele. Um único wafer com defeito pode comprometer todo o processo. O aquecimento por infravermelho permite que se controle esse perfil térmico com precisão.</p> <p><strong>O que é importante, tecnicamente:</strong><br> Usamos emissores de infravermelho de onda curta para transmitir calor diretamente para a camada de fotoresistente – de maneira rápida, direta e previsível. A uniformidade em todo o wafer fica dentro de ±0,1°C durante todo o processo. O design dos emissores não utiliza quartzo, portanto não há geração de partículas, o que é essencial para ambientes de classe 1–100. A repetibilidade é de até 0,2% de desvio de ciclo em ciclo, independentemente de se o processo ocorre após cozimento suave, cozimento forte ou etching.</p>