Вафля on Quartz IR Heating Experts

Быстро высыхающая пластина после промывки под лампой

Thu, 02 Jul 2026 08:36:23 +0800

На производственном участке качество промывки напрямую зависит от качества последующей сушки. Отпечатки воды, разводы и остаточная влага после промывки существенно снижают качество продукции – особенно при толщине пленки менее 28 нм. Стандартные нагревательные устройства приводят к задержкам в процессе нагрева, а каждое движение устройства для нагрева способствует образованию частиц.

Элемент нагрева для окисления ваферов

Mon, 22 Jun 2026 23:41:42 +0800

На производственном участке температурные колебания во время процесса оксидации проявляются не просто как числа на графиках — они серьезно влияют на качество получаемой продукции. Даже небольшое повышение температуры на 2°C может нарушить рабочие параметры устройства и сделать бесполезными все усилия по его настройке, затраченные за недели. Мы разработали специальные нагревательные элементы для оксидации пластин, чтобы избавиться от таких проблем.

Что имеет значение с технической точки зрения
Нагревательный элемент выполнен на основе кварца; он обеспечивает быструю реакцию и стабильную работу. Уровень однородности температуры на поверхности пластины составляет ±0,1°C, а повторяемость результатов при последовательных циклах — менее 0,2°C. Вы можете выбирать длинноволновые или средневолновые профили нагрева в зависимости от ваших требований: быстрый нагрев для тонких слоев, контролируемое нагревание при формировании толстых слоев оксида.

Прецизионный ИК датчик для пластин

Fri, 05 Jun 2026 04:07:08 +0800

На линии 300 мм подложка не может позволить себе дрейф во время мягкой и жесткой обжарки. Точка нагрева на 2°C по всей площади изменит CD, оставит наслоение и превратит целую партию в брак. Вам нужен контроль температуры, который будет действовать как реальный параметр процесса, а не как лучшее предположение.

Что важно внутри

Мы разработали прецизионный ИК-сенсор для работы с подложками, который поддерживает термическую однородность в пределах ±0.1°C по всей поверхности обжарки. Повторяемость установленных значений остается в пределах ±0.05°C от прогона к прогону.
Он работает в чистых помещениях класса 1–100, с материалами и покрытиями, которые не выделяют частицы. Нулевое выделение газа, нулевое сбрасывание и ничего, что могло бы загрязнять фотополимер.
Он совместим с источниками на основе галогена, кварца и NIR, а спектральная реакция остается стабильной, благодаря чему поглощение остается постоянным по всей подложке. Вы получаете стабильный выход более 5000 часов, с отклонением менее 5%.