http://qz-heating-ir.com/ru/tags/%D0%BF%D0%B5%D1%80%D0%B5%D0%B2%D0%BE%D0%B7%D1%87%D0%B8%D0%BA/ Recent content in Перевозчик on Quartz IR Heating Experts Hugo ru Wed, 24 Jun 2026 04:03:25 +0800 http://qz-heating-ir.com/ru/posts/wafer-carrier-cleaning-dryer/ Wed, 24 Jun 2026 04:03:25 +0800 http://qz-heating-ir.com/ru/posts/wafer-carrier-cleaning-dryer/ <p><img src="http://qz-heating-ir.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="Сушилка для очистки поддонов для вафер"></p> <p>На производственной площадке носитель, прошедший процедуру очистки с использованием влажного метода, не может пронести влагу в зону литографии. Остаточные слои пленки и следы воды снижают качество продукции, требуют повторной обработки и увеличивают нагрузку на систему отопления при последующей обработке. Сушильный аппарат должен обеспечить единообразную степень высыхания без появления частиц и без избыточной нагрузки на носитель.</p> <p><strong>Что важно внутри устройства</strong><br> Мы разработали сушильный аппарат для очистки подложек с использованием тепла коротковолнового инфракрасного излучения. Это излучение проникает прямо в воду и тонкие слои пленки, что позволяет высушивать подложку без перегрева кварцевого носителя. Это обеспечивает единообразное тепловое поле на всей поверхности подложки; стабильность температуры составляет ±0,1°C в критической зоне. Повторяемость процесса обеспечивается за счет использования специальных ламп и системы закрытого цикла управления: каждый цикл приносит одинаковый результат, что исключает изменения условий высыхания. Устройство можно использовать в чистых комнатах класса 1–100; оно не создает частиц во время работы, а система вентиляции предотвращает их повторное попадание внутрь устройства.</p>