http://qz-heating-ir.com/ru/tags/%D1%82%D0%BE%D1%87%D0%BD%D0%BE%D1%81%D1%82%D1%8C/ Recent content in Точность on Quartz IR Heating Experts Hugo ru Fri, 05 Jun 2026 04:07:08 +0800 http://qz-heating-ir.com/ru/posts/precision-ir-sensor-for-wafer/ Fri, 05 Jun 2026 04:07:08 +0800 http://qz-heating-ir.com/ru/posts/precision-ir-sensor-for-wafer/ <p><img src="http://qz-heating-ir.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="Прецизионный ИК датчик для пластин"></p> <p>На линии 300 мм подложка не может позволить себе дрейф во время мягкой и жесткой обжарки. Точка нагрева на 2°C по всей площади изменит CD, оставит наслоение и превратит целую партию в брак. Вам нужен контроль температуры, который будет действовать как реальный параметр процесса, а не как лучшее предположение.</p> <h2 id="что-важно-внутри">Что важно внутри</h2> <p>Мы разработали прецизионный ИК-сенсор для работы с подложками, который поддерживает термическую однородность в пределах ±0.1°C по всей поверхности обжарки. Повторяемость установленных значений остается в пределах ±0.05°C от прогона к прогону.<br> Он работает в чистых помещениях класса 1–100, с материалами и покрытиями, которые не выделяют частицы. Нулевое выделение газа, нулевое сбрасывание и ничего, что могло бы загрязнять фотополимер.<br> Он совместим с источниками на основе галогена, кварца и NIR, а спектральная реакция остается стабильной, благодаря чему поглощение остается постоянным по всей подложке. Вы получаете стабильный выход более 5000 часов, с отклонением менее 5%.</p> http://qz-heating-ir.com/ru/posts/high-precision-temperature-heater/ Thu, 04 Jun 2026 03:31:30 +0800 http://qz-heating-ir.com/ru/posts/high-precision-temperature-heater/ <p><img src="http://qz-heating-ir.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="Высокоточный температурный нагреватель"></p> <p>На производственном участке тепловые отклонения не сопровождаются предупреждениями — они проявляются в виде снижения выхода годных изделий. Отклонение температуры на 0,5°C во время сушки фоторезиста достаточно, чтобы вывести контроль критических размеров за пределы спецификации. А если плитка нагревателя неравномерна, после сушки пластин появятся пятна от воды. Потери — это не только брак, но и срыв графика производства.</p> <p><strong>Что важно с технической точки зрения</strong><br> Мы проектируем эти нагреватели с акцентом на точный контроль температуры: стабильность установки ±0,1°C и равномерность на уровне пластины. Используем коротковолновое галогенное или средневолновое инфракрасное излучение, проходящее через кварцевые окна для чистой передачи тепла. Быстрые темпы нагрева сокращают время цикла без дополнительного термического напряжения в стеке.</p>