Сокращение времени циклов в чистых зонах производства полупроводников инфракрасное обогревание против обогрева с использованием принудительного потока воздуха

Почему мы переходим на инфракрасное нагревание для тележек, используемых в производстве полупроводников При перемещении пластин или компонентов между...